特征

紅外透射膜厚監(jiān)測(cè)儀可測(cè)量電池隔膜等半透明片材、黑色抗蝕劑等低反射膜、硅片等的厚度。這是一款紅外吸收式薄膜測(cè)厚儀，可用于從實(shí)驗(yàn)室水平到生產(chǎn)過程中100%在線檢測(cè)的所有情況。
這是一種紅外薄膜測(cè)厚儀，采用由緊湊型鏡面探頭組成的透射光學(xué)系統(tǒng)，可通過 100 多個(gè)波長(zhǎng)的光譜同時(shí)精確測(cè)量薄膜厚度、密度和成分等多個(gè)參數(shù)。

1. 
   

• 1

• 測(cè)量半透明片、低反射膜、硅等
  的厚度，這是使用光學(xué)干涉測(cè)量法難以做到的。

2. 
   

• 2

• 小型光纖探頭

  通過使用小型30mm反射探頭，
  可以安裝在設(shè)備或生產(chǎn)線內(nèi)的狹小空間內(nèi)。另外，探頭
  與主體僅通過光纖
  連接，因此具有優(yōu)異的耐環(huán)境性。

3. 
   

• 3

• 高速測(cè)量100多個(gè)點(diǎn)同時(shí)采樣
  950至1650 nm的近紅外波長(zhǎng)
  

  可以實(shí)現(xiàn)短至 1 毫秒的高速采樣。
  可在生產(chǎn)線上進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)和測(cè)量。
  由于不會(huì)旋轉(zhuǎn)干涉濾光片等，因此具有出色的耐用性和可靠性。

4. 
   

• 4

• 厚度測(cè)量重復(fù)性0.1%以下（3σ）

5. 
   

• 5

• 兩種可選的測(cè)量算法

  測(cè)量算法	校準(zhǔn)樣品	測(cè)量目標(biāo)
  蘭伯特-比爾法	1 種	僅厚度
  最小二乘回歸法	2種以上	多重（厚度、密度、特定成分的混合量等）

測(cè)量示例（鋰離子電池隔膜）

測(cè)量示例（硅基板上的黑色抗蝕劑膜厚）

作品